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無(wú)塵室設(shè)計(jì)和裝修的基本知識(shí)是什么？

發(fā)布時(shí)間：2022-12-11 15:47:58 丨 瀏覽次數(shù)：

無(wú)塵室裝修設(shè)計(jì)是污染控制的基礎(chǔ)。如果沒(méi)有潔凈室，就不可能大規(guī)模生產(chǎn)對(duì)污染敏感的部件。在FED-STD-2中，無(wú)塵潔凈室被定義為具有空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、結(jié)構(gòu)材料和設(shè)備的房間。特定和常規(guī)的操作程序通過(guò)控制空氣中顆粒的濃度來(lái)達(dá)到適當(dāng)?shù)念w粒清潔度水平。

1.無(wú)塵室的設(shè)計(jì)和建造是指在一定空間內(nèi)去除空氣中的顆粒物、細(xì)菌和其他污染物。室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、空氣速度和分布、噪音、振動(dòng)、照明和靜電控制均在規(guī)定要求內(nèi)進(jìn)行。提供專門設(shè)計(jì)的無(wú)塵室。

第二，潔凈室的原則。潔凈室內(nèi)使用了HEPA和空氣凈化設(shè)備，除塵率為99.97%～99.9995%，因此這款過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可以說(shuō)非常干凈。然而，除了人，潔凈室中還有機(jī)器等灰塵來(lái)源。一旦擴(kuò)散，就不可能保持干凈的空間。因此，應(yīng)利用氣流將產(chǎn)生的粉塵快速排出室外。

第三，潔凈室里有三層灰塵。無(wú)塵潔凈室有三個(gè)原則：防塵、除塵和除塵。作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，風(fēng)室是帶有灰塵的最佳凈化設(shè)備之一，可以大大減少員工進(jìn)出潔凈室的污染問(wèn)題?？照{(diào)室兩扇門的電子鎖也作為空調(diào)室，可以防止外部污染和不純空氣進(jìn)入無(wú)塵清潔區(qū)域，滿足生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)所需的生產(chǎn)清潔環(huán)境。

第四，無(wú)塵潔凈室的重要作用是控制產(chǎn)品（如硅片）接觸的大氣清潔度、日常溫度和濕度。通過(guò)這種方式，可以在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造產(chǎn)品。這個(gè)空間被稱為無(wú)塵潔凈室。根據(jù)國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化水平主要基于每立方米空氣中直徑大于區(qū)分標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量。換句話說(shuō)，灰塵不是100%無(wú)塵，而是在非常小的單元中控制的。當(dāng)然，在這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)下，符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒與我們常見(jiàn)的粉塵相比已經(jīng)非常小，但在光學(xué)結(jié)構(gòu)中，即使是一點(diǎn)點(diǎn)粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。因此，在光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)中，無(wú)粉塵是不可避免的要求。

五、 如果每立方米小于0.5μm的微粒數(shù)量控制在3500以下，將達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。在芯片級(jí)生產(chǎn)和加工中應(yīng)用的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求高于A級(jí)。該高標(biāo)準(zhǔn)主要適用于一些高級(jí)別芯片的生產(chǎn)。細(xì)粉塵的數(shù)量嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這在業(yè)內(nèi)通常被稱為1K級(jí)。