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凈化車間潔凈室裝修要求
凈化車間裝修的重點是讓我們看到溫度和濕度的作用。從生產(chǎn)過程的角度來看,每條生產(chǎn)線應(yīng)有不同的控制參數(shù)要求;從衛(wèi)生角度來看,高濕度容易滋生細菌,尤其是霉菌。溫度和濕度越低,越能抑制細菌的繁殖。雖然濕度低,但容易灰塵和傳播細菌。然而,綜合分析表明,較低的濕度是有益的。在各生產(chǎn)潔凈區(qū)的溫濕度控制中,無需強制統(tǒng)一參數(shù)標(biāo)準,而是應(yīng)根據(jù)不同產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝要求確定,這不僅有利于空調(diào)系統(tǒng)的調(diào)節(jié)和運行,也有利于生產(chǎn)控制。
凈化車間布置在一定的空間內(nèi),以消除空氣中的顆粒物、有害空氣和細菌等污染物,并將室內(nèi)溫度、清潔度、壓力、風(fēng)速和氣流分布、噪聲、振動、照明和靜電控制在一定的需求范圍內(nèi)。凈化工程公司專門設(shè)計的房間,無論外部空氣條件如何變化,都能保持原來設(shè)定的清潔度、溫度、濕度和壓力。潔凈室溫濕度控制
潔凈空間的溫度和濕度主要根據(jù)工藝要求確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮人體舒適性。隨著對空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫度和濕度的要求越來越嚴格。
具體工藝的溫度要求將在后面列出,但作為一般原則,由于加工精度越來越高,對溫度波動范圍的要求越來越小。例如,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過程中,作為掩模材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)之間的差異要求越來越小。當(dāng)直徑為100微米的硅片的溫度上升1度時,它會導(dǎo)致0.24微米的線性膨脹,因此它必須具有±0.1度的恒定溫度。同時,濕度值一般較低,因為人們出汗后會污染產(chǎn)品,特別是在害怕鈉的半導(dǎo)體車間。本車間溫度不得超過25度。
濕度過高會導(dǎo)致更多問題。當(dāng)相對濕度超過55%時,冷卻水管壁會凝結(jié)。如果發(fā)生在精密器件或電路中,會引起各種事故。相對濕度為50%時易生銹。此外,當(dāng)濕度過高時,粘附在硅片表面的灰塵會通過空氣中的水分子化學(xué)吸附在硅片表面,很難去除。相對濕度越高,去除附著力就越困難。然而,當(dāng)相對濕度低于30%時,由于靜電力的作用,粒子容易吸附在表面上,大量半導(dǎo)體器件容易擊穿。對于硅片生產(chǎn),最佳溫度范圍為35-45%。
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